Irgacure PAG103
- メーカー
- BASFジャパン株式会社
- 製品名
- Irgacure PAG103
- 一般名
- 光酸発生剤
- 重合系
- 酸発生剤、オキシムスルホネート系
- 化学式
- Benzeneacetonitrile, 2-methyl-.alpha.-[2-[[(propylsulfonyl)oxy]imino]-3(2H)-thienylidene]
- サンプル量
- 10g
はたらき
光酸発生、化学増幅
特徴
i線に対し高感度、ハロゲンフリー、優れた溶解性、低揮発性
説明
オキシムスルホネート系非イオン性光酸発生剤(PAG)。溶剤溶解性に優れ、揮発性が低い。感度が高くかつ透明性に優れ、半導体・ディスプレイ等用途向けの化学増幅型レジストにおいて幅広いフォーミュレーションの可能性を提供。露光波長470nm 前後からDeep-UV まで広い波長域において高い感度を持つ。重金属・ハロゲンを含まず、良好な熱安定性(<140℃)を有し、低温ベーク型レジストをはじめとする種々のレジストに適する。
CAS番号
非公表
化審法番号
登録なし(少量新規物質)
ポリ衛協番号
分子量
348.45
密度
融点下限(℃)
93
融点上限(℃)
95
吸収波長ピーク
最大波長 (nm)
外観
黄色、褐色
性状
粉体